欢迎来到闻智，最近更新：居里夫人 (1943年电影)

Ctrl+D 加入收藏夹 - 保存到桌面

闻智

首页
知识
探索
娱乐
热点
焦点
休闲

当前位置-->首页-->知识

热门推荐

《奇异人生2》第二章宣传片公布 1月24日上线

伊氏鸚嘴魚

方丹莱卡皮

中力玻璃荣膺“中国加工玻璃30强”称号,行业会议

重点关注

　　森林覆盖率超过30%、各类林业经营主体3万多个、2021年全省林业总产值5092亿元……在我国首个林长制改革示范区安徽省，护绿、增绿、管绿、用绿和活绿协同发力，守住绿水青山的同时，将生态资源优势转化为经济优势，拓展“两山”转化新路径。
　　茂林修竹间，一条彩色的旅游公路串起林场、农庄和果园，地处江淮分水岭的合肥市长丰县岗集镇青峰岭村，万亩薄壳山核桃已果实累累。这里的丰收美景和田园之乐，让不少城里游客流连忘返。
　　“今年薄壳山核桃的产量、品质都不错！林下养鸡，林间种油菜，春天你再来看，又是一番美景！”作为当地较早返乡创业的新农人，长丰青峰岭家庭农场负责人王正华亲眼见证了“护绿生金”的变化。
　　王正华告诉记者，林长制改革以来，山有人管，林有人治，责有人担。村里优化产业结构，将资源变资产，发展现代都市观光农业，产业链条不断延伸。城里游客慕名而来，一到周末，农庄里的十几间精品民宿“一房难求”，优质的特色农产品成了抢手货。
　　守绿换金，添绿增金。在安徽，5.2万名林长守护着400多万公顷森林和100多万公顷湿地。数据显示，近5年，安徽省造林765万亩，农田林网建成率达73.8%，湿地保护率达51%以上。
　　森林碳汇、森林旅游、森林康养……安徽立足资源禀赋和区域特点，不断拓展生态产品价值实现途径，统筹推进生态产业化和产业生态化，推动生态资源转化为“富民资本”，绿水青山底色更亮，“金山银山”成色更足。
　　蓝天下，一望无际的黄金茶顺着丘陵起伏绵延，健身步道、休闲木亭点缀在茶园中，位于安徽省宣城市郎溪县的大佛山养心谷是不少摄影爱好者的网红打卡地。
　　依托优美的生态环境，郎溪县将盘活林业资源与发展全域旅游相结合，加快与沪苏浙等地的交通基础设施互联互通，描绘生产美、生态美、生活美的乡村振兴新图景。
　　“我们依托黄金茶标准化种植基地，探索茶旅融合，发展生态+康养产业，将美丽风光变为美丽经济，带动更多的村民走上生态致富路。”郎溪县大佛山养心谷负责人王立胜说。
　　水岸共治、退渔还湖、退养还湿……从予取予求到反哺自然、尊重自然、人与自然和谐共生，安徽按下生产和生活方式绿色转型“快进键”。
　　统筹推进山水林田湖草沙一体化保护和系统治理，安徽加快建设长江、淮河、江淮运河、新安江生态廊道，为区域经济发展筑牢生态安全屏障。
　　图为合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地。新华社记者张端摄
　　在安徽省合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地，百鸟争鸣，草木繁茂。随着环巢湖湿地面积的不断增加，生物多样性加快恢复，巢湖生态湿地重现生机。
　　当地群众告诉记者，这几年生态环境好了，常能看到白琵鹭、豆雁、红嘴鸥等鸟类在这里越冬、栖息，难得一见的东方白鹳也时常飞到巢湖湿地来觅食。
　　巢湖风光，作为五大淡水湖之一，巢湖是我国生态版图上的一颗明珠。新华社记者张端摄
　　青山为笔，碧水为墨，一幅生产发展、生活富裕、生态良好、城乡共美的青绿山水画卷正徐徐展开。
" alt="让生态资源转化为“富民资本”——安徽探索“两山”转化新路径见闻" style="width:120px;height:80px;">
让生态资源转化为“富民资本”——安徽探索“两山”转化新路径见闻
天津特大桥
HD 159868 b
鹤野刚士
市12345热线用心办好群众身边事_

内容简介:

最近关心

随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用" style="width:120px;height:80px;">
DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
弗利克斯库尔
拉法卢瓦斯
新汶矿业
　　“汪书记，这么快就弄好了，谢谢你啊，都快下班了，还特意送过来。有了这枚‘爱心二维码’胸牌，我和老伴出去再远也不怕啦！”“不用谢，这是我们应该做的，今后您有什么需要随时告诉我们。”9月25日下午5时许，在贵池区池阳街道古舜社区杏村小区，家住8号楼的李奶奶开心地从汪绍琴手中接过两枚“爱心二维码”胸牌。　
　　今年48岁的汪绍琴现任古舜社区党委书记、居委会主任，自1993年走上社区工作岗位以来，一直扎根基层，以“做好社区民生‘微’实事”为目标，深入调查研究、不断探索社区建设新路子、服务民生新途径，每天忙着解民忧、纾民困，社区居民视她为自己的“贴心人”。今年7月，汪绍琴被评为“池州好人”。　
　　古舜社区位于主城区中心地段，属于商居结合型社区，辖区有农贸市场、超市、商业步行街和5个开放式小区，流动人口多，管理难度大。汪绍琴自任职以来，立足社区实际，精细化服务，大力提升社区治理水平。　
　　她从小处着手，在全市率先设立“邻里议事点”，制定“我为群众办实事”任务清单，积极解决巷道环境整治、晾晒点安装、充电桩设置等重难点问题。　
　　她创新工作思路，探索建立“3156”工作法破解社区治理难题，实行楼栋调解、网格调解、社区调解三层网络体系，开展网格化信息采集、资源整合、成效检验等工作；成立“钱姐工作室”，发动党员、社会工作者、群防群治队伍等“进群”搭建参与平台；组建香樟“古舜之家”“五彩阳光驿站”“乐邻祥和小屋”“心援助幸福家”“解忧援助小栈”5支专业联调团队，动员社区工作者、业委会、志愿者、楼栋长等社会力量共同参与，发挥专业团队优势；采取“听、问、调、帮、和、访”6步工作法使调解工作更加多元化、专业化。2022年“3156”工作法被安徽省民政厅授予“全省优秀社区工作法”。　
　　近年来，汪绍琴依托“香樟古舜”党建服务品牌，为38户困难家庭提供居家关爱服务；为25名社区老年人精心设计订制专属个人的“爱心二维码”，给老年朋友的安全提供有力保障；联合池州学院大学生志愿者先后共为800余名留守儿童连续8年开展“爱暖童心筑梦启航”志愿服务活动；搭建创业就业平台，推送各类就业信息近千余条，帮助推荐就业岗位45个。　
　　多年来，汪绍琴在平凡的工作岗位上始终恪守“奉献不言苦，追求无止境”的人生格言，不仅高质量完成上级交办的各项工作任务，还赢得了群众的广泛赞誉。她先后获得“全国妇联系统劳动模范”“池州市皖美警嫂”“池州市‘十佳’村（社区）党组织书记”等荣誉，并当选安徽省第十一次党代会代表、池州市第五次党代会代表、贵池区第十六届人大代表。　
　　“我只是一个平凡的社区干部，取得的成绩属于社区所有工作人员。今后，我将继续用心用情做好服务，努力成为社区居民最信赖的‘贴心人’。”面对众多荣誉和赞美，汪绍琴说。（记者倪晓春）
" alt="汪绍琴：甘做居民“贴心人”" style="width:120px;height:80px;">
汪绍琴：甘做居民“贴心人”
舍爾納克
莱图瓦勒
李衛辭官

友情链接：長榮里 (大里區)大元里大明里 (臺中市)酋婦蟹總科香港女子聯賽足總盃潮宗街古城墙遗址口紅的傳言黃吻裸頂鯛羅冠樵王座山天文台谷口千吉 Eminleo 唐吉田班旦加措 HTTP摘要认证宗秦客停泊群岛何俊比沙堡 2012年缅甸地震印第安納州州旗 MW ～Dear Mr. & Ms. 流浪漢～/夏Dive 三鷹台站中国公民签证要求樹王里亞洲青少棒錦標賽马克思尔呼尔泽吳鴻恩養父郡金显哲西斯·格瑞辛格原聲吉他人格本質模型暈炫風暴中国法学大明里 (臺中市)阿爾托巴札涅斯 1942 松村匠天主教迪戈斯教区

© Copyright 2026闻智-More Templates 京公网安备11000002026001号